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          產品詳情
          • 產品名稱:MBE分子束外延系統

          • 產品型號:
          • 產品廠商:其它品牌
          • 產品文檔:
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          簡單介紹:
          MBE分子束外延系統是為了在6英寸襯底上生長高質量的III/V族或者II-VI族異質結構材料而研發的。樣品臺選用熱解石墨加熱或者鎢、鉭加熱絲。MBE分子束外延系統是公認的非常適合于III/V族, II/VI族或其他異質結構材料生長應用研發與生產。
          詳情介紹:


          基于于團隊成員的多年研發經驗,我們發展和制造了 MBE分子束外延系統及各種功能的源爐。每個產品都是由MBE專業人才進行組裝和測試的。

          MBE分子束外延系統是為了在6英寸襯底上生長高質量的III/V族或者II-VI族異質結構材料而研發的。樣品臺選用熱解石墨加熱或者鎢、鉭加熱絲。MBE系統是公認的非常適合于III/V族, II/VI族或其他異質結構材料生長應用研發與生產。

           MBE分子束外延系統的主要特點是極高的可靠性和普適性。標準的Octoplus 500有11個呈放射狀分布的源孔,可以根據需要增選3個源孔??焖俪檎婵者M樣室配有水平磁力桿傳輸系統,可以在不破壞MBE腔室真空的前提下,簡便地進行樣品傳輸。

           MBE分子束外延系統的主要參數規格:

          ● ID 550 mm

          ● 應用于III/V族, II/VI族或其他異質結構材料

          ● 大晶片6英寸,或7x2英寸晶片

          ● 進樣室和緩沖腔室

          ● 線性樣品傳輸系統

          ● 標準法蘭孔數目(標準11個,可按要求增加3個)

          ● 束流源,氣體源,樣品臺

          ● 抽真空系統(離子吸附泵,分子泵,低溫泵等)

          ● 原位表征能力

          ● 軟件/硬件控制系統

          ● 額外要求可定制





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